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■上海理想能源設備公司的PECVD設備成功下線。 新華社
據新華社8日電 中國首台代表國際尖端水準的薄膜太陽能電池關鍵生產設備—等離子體增強型化學氣相沉積設備(PECVD),8日在上海理想能源設備公司(簡稱「理想能源」)成功下線,這被視為中國在新能源高端裝備領域取得的新突破。
據介紹,「中國製造」的PECVD性能領先於國外同類產品,但價格大幅低於後者。中國工業和信息化部裝備工業司副司長李東表示,高端薄膜太陽能電池關鍵生產設備的研製成功,為中國新能源產業下一步的發展奠定了堅實基礎。
打破歐美日技術壟斷
近年來,被視為「第二代技術」的硅基薄膜太陽電池技術「異軍突起」。這類電池是在玻璃、金屬或塑膠等基板上沉積很薄的光電材料而製成,它在弱光條件下仍可發電,既可應用於大規模光伏電站,也可製成柔性及半透明電池、實現真正的光伏建築一體化應用。此外,該電池可大幅降低生產過程的能耗,具備顯著降低原料和製造成本的潛力。
不過,薄膜太陽能電池生產設備複雜昂貴,尤其是關鍵設備PECVD,更是高達上千萬美元,長期以來一直被歐洲、美國和日本的企業壟斷。一直以來,中國企業的此類設備全需進口。
在上海市政府、浦東新區政府等各方支持下,一年多裡,理想能源相繼完成了PECVD首台機的研發、中試、下線,並申請了10多項核心技術專利。據介紹,首台機採用了創新的超高頻射頻技術,精密的真空和溫度控制技術,快速的自動傳輸技術以及多腔多片的反應腔系統等,大大提高了產能,其產品性能優於國際一流設備,但價格遠低於同等的進口設備,將打通中國薄膜太陽能電池產業化的關鍵環節。
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