香港文匯報訊（記者 李兵 成都報道）國家「十三五」重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目「超光滑表面無損檢測儀」，日前在成都高新區正式啟動。該儀器主要用於高精度非接觸測量，可廣泛應用於高速集成電路、微電子集成電路以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用於大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。
據悉，該項目由成都太科光電技術有限責任公司牽頭，協同內地多所大學、研究所和企業共同實施。國家科技部、成都高新區分別提供2,000萬元人民幣（下同）、200萬元的資金支持。項目完成後，將研製數台超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產權的系列化產品，為未來產業化發展提供工藝路線，預計企業產值上億元。